隧道洁净室是一段一段拼装的，每一段是一个净化区域单元，或者说净化区域单元就是洁净隧道的一段，而净化单元的主体是所谓“层流罩”的结构。当把它连续设置时，就构成了能够提供接生产线自由配置的循环式的洁净隧道或隧道洁净室。隧道式洁净室是利用局部平行流的很好的范例。对于典型的隧道式洁净室，国外常有以下三种结构型式。

　　1.双侧维修型

　　在洁净工作台的前后都有进风口，所以可针对生产线的发热量，通过调节吸入前后的风量比，来控制工作区中的温度。这种型式不仅可以从前面，更便于从背面隔断用的透明面板所形成的通道中进行净化单元和生产设备的维护。

　　2.前侧维修型

　　因平面布置关系，需将装置的背面紧贴墙壁，所以只能在前面维修。单元的进风口也只设在前面，因为只从前面进风，所以适用于发热量小于双面维修型。这种型式只在前面安装2支日光灯。

　　3.顶棚布置型

　　是将净化区域单元设置于全部顶棚上。这样做减少了空调器数量（上述两种型式基本是一个单元一台空调器）送风动力也大大减少。安装单元的框架不要了。只需简单地从整个装置下面固定4个部位。